会员中心 立即登录 | 免费注册 关于我们 | 400热线:400 112 9518
欢迎来到上海白银网 ! 手机版 | 收藏本站
您现在位置:白银频道 >> 白银产业 >> 浏览文章

溅射靶材简介及溅射靶材产业链上下游关系

2018/7/9 14:33:16www.shbaiyin.com91金属编辑部0

1、溅射靶材简介

    91金属(91jinshu.com)讯,溅射属于物理气相沉积技术的一种,是制备电子薄膜材料的主要技术之一,它利用离子源产生的离子,在高真空中经过加速聚集,而形成高速度能的离子束流,轰击固体表面,离子和固体表面原子发生动能交换,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材料,称为溅射靶材。

溅射靶材工作原理基本情况如下:

    一般来说,溅射靶材主要由靶坯、背板等部分构成,其中,靶坯是高速离子束流轰击的目标材料,属于溅射靶材的核心部分,在溅射镀膜过程中,靶坯被离子撞击后,其表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成电子薄膜;由于高纯度金属普遍较软,而溅射靶材需要安装在专用的机台内完成溅射过程,机台内部为高电压、高真空环境,因此,背板主要起到固定溅射靶材的作用,且需要具备良好的导电、导热性能。

    按照不同的分类方法,能够将溅射靶材分为不同的类别,主要分类情况如下:

序号

分类标准

产品类别

1

按形状分类

长靶、方靶、圆靶

2

按化学成份分类

金属靶材(纯金属、钽等) 、合金靶材(铬合金、

合金等) 、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫

化物等)

3

按应用领域分类

半导体芯片靶材、平面显示器靶材、太阳能电池靶材、信息存储

靶材、工具改性靶材、电子器件靶材、其他靶材

    溅射靶材的应用领域广泛,由于应用领域的不同,溅射靶材对金属材料的选择和性能要求存在一定的差异,具体情况如下:

应用领域

金属材料

主要用途

性能要求

半导体芯片

超高纯度铝、 钛、 铜、

钽等

制备集成电路

的关键原材料

技术要求最高、超高纯度金属、高精度尺寸、高集成度

平面显示器

高纯度铝、 铜、 钼等,

氧化(ITO)

高清晰电视、 笔

记本电脑等

技术要求高、高纯度材料、材料面积大、均匀性程度高

太阳能电池

高纯度铝、铜、钼、

铬等,ITO

薄膜太阳能电

技术要求高、应用范围大

信息存储

铬基、钴基合金等

光驱、光盘等

高储存密度、高传输速度

工具改性

纯金属铬、 铬铝合金

工具、 模具等表

面强化

性能要求较高、使用寿命延长

电子器件

镍铬合金、 铬硅合金

薄膜电阻、 薄膜

电容

要求电子器件尺寸小、稳定性好、电阻温度系数小

其他领域

纯金属铬、钛、镍等

装饰镀膜、 玻璃

镀膜等

技术要求一般,主要用于装饰、节能等

    2、行业在产业链中的位置

   高纯溅射靶材行业属于电子材料领域,其产业链上下游关系如下:

高纯溅射靶材产业链

文 | 91金属-金属产业链现货服务商!
定位于稀贵金属及有色金属产业,提供相关金属资讯及现货购销服务,自营品类:1#银锭、高纯银珠、电镀银板、银丝、黄金、铂金、精铟!


实物黄金

上海黄金交易所

1000克 投资金条 含税
纯度:>99.99%
库存:24.0kg

立即微信咨询

立即询价
  • 上海黄金交易所
  • 现货交易
  • 指定交割品牌
  • 实时点价